设备主要特点
适用晶圆硅片尺寸: 2~6"
串级控温系统，恒温区高精度
具有高抗干扰能力
具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
多条多步工艺曲线 
可编辑升温、恒温、降温 
设备故障自检与报警 
自动多组PID自动调节 
温度自动修正（单点、多点） 
智能悬臂送料机构 
工艺气体自动控制流量，设有上下偏差、缺气、气压低等功能