LED合金退火炉
设备主要特点
适用晶圆硅片尺寸: 2~6"
串级控温系统，恒温区高精度
具有高抗干扰能力
具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
多条多步工艺曲线
可编辑升温、恒温、降温
设备故障自检与报警
自动多组PID自动调节
温度自动修正（单点、多点）
智能悬臂送料机构
工艺气体自动控制流量，设有上下偏差、缺气、气压低等功能
适用晶圆硅片尺寸: 2~6"
串级控温系统，恒温区高精度
具有高抗干扰能力
具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置
多条多步工艺曲线
可编辑升温、恒温、降温
设备故障自检与报警
自动多组PID自动调节
温度自动修正（单点、多点）
智能悬臂送料机构
工艺气体自动控制流量，设有上下偏差、缺气、气压低等功能
主要技术参数
- 可配工艺管数量：1~4管/台
- 工作温度范围：200℃~800℃
- 恒温区长度：200~10000mm
- 单点温度稳定性：±0.5℃/24h
- 最大可控升温速度：15℃/min;
- 最大降温速度：5℃/min
- 舟上内偶可实时监测晶圆片温度
