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单晶炉

产品应用:主要用于2~6英寸锗单晶、砷化镓等化合物晶体的生长
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产品详情

产品特点

  • 具有自主知识产权的软件系统,良好的人机界面。 
  • 关键部件均采用进口,确保设备的稳定性 
  • 控温精度高,温区控温稳定性好 
  • 具有断电报警、超温/欠温报警、极限超温报警等多种安全保护功能 
  • 晶体生长均匀性好、重复性高

 

主要技术指标 

  • 工作温度:600~1280℃
  • 适应晶体尺寸:2~6英寸 
  • 装料量:10Kg/炉 
  • 温区段数:7段控制 
  • 温区长度:800mm 
  • 温区精度:(800~1280℃) ±0.5℃
  • 最大升温速率:15℃/min
  • 最大降温速率:5℃/min
  • 升降行程:1000mm 
  • 最小升降速率(VB):0.1mm/h