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井式炉

产品详情
主要用于2-6寸晶圆片的烧结、退火等工艺操作。
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主要技术指标：

  • 方式：平板加热，上有石墨板匀热片槽，加热面积直径400mm（可定制）
  • 最高温度：600℃
  • 工作温度：500 ℃以内
  • 控温精度：±2℃
  • 真空机组：干泵
  • 工艺气体：N2、H2、Ar。压力：0.1—0.2Mpa
  • 冷却水：压力0。2—0.4MPa
  • 电源电压：380 V

 

ꄴ前一个： 立式炉
ꄲ后一个： 单晶炉