立式炉
超大规模集成电路制造设备，工艺时间短，生产效率高，具有出色的工艺性能达到先进水平。
应用领域
- VLSI集成电路制造
产品优势
- 晶片(片/批次)150片
- 晶片高速搬送系统，实现高吞吐量
- 精密的热场控制，气体控制系统
- 工艺周期短，生产效率高
外形尺寸及重量
- 外形尺寸(参考)：4350mm*1000mm*3300 mm(长*宽*高)
- 重量：2600Kg
产品详情
应用领域
产品优势
外形尺寸及重量
